Kjarnabúnaður í sjálfvirkri framleiðslulínu fyrir PR-hreinsun fyrir framleiðendur LCD skjáa
Sjálfvirka PR (photoresist) hreinsunarlínan er kjarna blautvinnslubúnaður í LCD skjáframleiðslu. Það er fyrst og fremst notað eftir ljósgreiningarferlið á undirlag fylkis til að fjarlægja vandlega leifar af ljósþolnum, ætarleifum og yfirborðsör-mengunarefnum. Það er mikilvægur búnaður til að tryggja nákvæmni spjaldrásar og bæta afrakstur vöru. Það hentar fullkomlega í ströngu framleiðsluumhverfi í Class 100 hreinherbergi og nær mikilli-nákvæmni, sjálfvirkri og mengunarlausri-hreinsun með lokuðum-lykkjum.
Það miðar að jákvæðu og neikvæðu ljósþolsleifunum eftir ljósþynningarferlið og notar fjöl-þrepa úthljóðshreinsun + hreint vatnsflæðisskolunarferli til að fjarlægja djúpt rusl, lífrænar aðskotaefni, rykagnir og önnur óhreinindi sem eftir eru eftir ljóslitaætingu. Það getur rækilega fjarlægt smásæjar leifar undir 0,5 μm og komið í veg fyrir galla eins og opnar hringrásir á spjaldið, bjarta bletti og Mura bletti af völdum óhreininda. Ásamt 0,1μm háu-síunarkerfi kemur það í veg fyrir aukamengun. Það nær ítarlega, skemmda-lausa fjarlægingu, forðast áhrif afgangs límlags á síðari ætingar- og húðunarferli, með 100% þekjuhlutfalli til að fjarlægja.
Innbyggða-ESD rafstöðueiginingin stjórnar rafstöðugildinu nákvæmlega á bilinu Minna en eða jafnt og ±100V. Samhliða holrúmsvörn gegn-stöðuefninu og snertilausri segulhjólafhendingartækni, kemur í veg fyrir að rafstöðuafhleðsla skemmi nákvæmni rafrásar spjaldsins, á sama tíma og kemur í veg fyrir rispur, flís og rykmyndun vegna núnings á glerundirlaginu og hámarkar þannig vernd undirlagsins.
Hátt og lágt hitastig við stöðugt hitastig prófunarhólf
Kjarninn í sjálfvirkri hreinsunar- og þurrkunarframleiðslulínubúnaði fyrir LCD-skjáframleiðendur samþættir tvöfalda þurrkunarstillingu: lofthnífsskurð og stöðugt-hitaloftsþurrkun. Þetta fjarlægir fljótt vatnsbletti af yfirborði undirlagsins og nær að-vatnsmerkjalausri og snefillausri-þurrkun. Eftir þurrkun nálgast rakainnihald yfirborðs undirlagsins núll, sem gerir kleift að flytja beint yfir í næsta ferli án aukavinnslu, sem tryggir samfellu ferlisins. PLC stjórnkerfi gerir fullkomlega sjálfvirka lokaða-lykkjuaðgerð við hleðslu, staðsetningu, hreinsun og affermingu. Það styður rauntíma vöktun og viðvörunaraðgerðir til að stilla styrk hreinslausnar, hitastig, raka og hreinleika. Lokað hólf og halla undirþrýstingshönnun koma í veg fyrir efnagasleka. Ásamt jákvæðu þrýstingsumhverfi í Class 100 hreinherbergi, gerir það einnig kleift að endurvinna hreint vatn og flokkun og endurheimt úrgangsvökva, sem uppfyllir bæði orkusparnað og umhverfisverndarkröfur.
Í samanburði við hefðbundna handvirka hreinsun, hafa fullkomlega sjálfvirkar framleiðslulínur fyrir PR-hreinsun óbætanlega kosti: hreinsunarskilvirkni er aukin um meira en 3 sinnum og hægt er að vinna næstum 10.000 glerhvarfefni á hverri vakt, sem styttir vinnsluferlið verulega; hreinsunarsamkvæmni er frábær, fjarlægir vandlega ör-leifar sem eru minni en 0,5μm, stýrir gallahraða spjaldsins í innan við 0,5PPM, og forðast í raun galla eins og bjarta bletti, dökka bletti og hringrásarbrot á skjánum; búnaðurinn tekur upp vatns-sparandi og orkusparandi-hönnun, með háu endurheimtarhlutfalli fyrir hreint vatn og flokkuð söfnun og meðhöndlun skólps, sem uppfyllir kröfur um umhverfisvernd; öll vélin er gerð úr tæringarþolnu PVC og SUS304 ryðfríu stáli, með sterkri þéttingu, auðveldri þrif og viðhaldi, og hentar fyrir 24-stunda samfellda notkun í hreinherbergjum og verður staðalbúnaður fyrir framleiðendur LCD skjáa til að byggja upp hágæða vörulínur og auka samkeppnishæfni kjarna.
Kjarnabúnaður í ljósmyndavinnustofu framleiðenda LCD skjáa
Lýsingarbúnaðurinn er kjarnabúnaðurinn í ljóslitaverkstæðinu og lykilferlissvæði í framleiðsluferli LCD fylkisins. Einnig þekkt sem spjaldlithography vél, það er hár-nákvæmni optískt blautvinnslutæki. Meginhlutverk þess er að flytja hönnunarmynstrið fyrir undirlagshringrásina yfir á glerundirlag húðað með ljósþolnum með ljósfræðilegri lýsingu, sem er mikilvægt fyrir myndun ör-hringrása í spjaldinu. Nákvæm flutningur hringrásarmynstrsins frá ljósmyndagrímunni yfir á glerundirlagið er forsenda síðari ætingar, húðunar og PR hreinsunarferla, sem ákvarðar beint gæði skjásins. Búnaðurinn notar -snertilausa útsetningarferli, sem hentar fyrir stór-þunnt LCD-glerhólf, sem forðast rispur, skemmdir og mengun undirlagsins.
Helstu tæknilegu hápunktarnir eru meðal annars há-nákvæmni jöfnunarkerfi með míkron-stigi eða jafnvel undir-míkron-yfirlagsnákvæmni, sem tryggir núll misjöfnun í fjöl-laga hringrásarstöflun með villum sem er stjórnað innan nokkurra þúsundustu úr þvermál hárs; notkun samræmdrar ljósgjafa og kraftmikilla fókustækni til að ná orkusveiflum í útsetningu<±3% on large-size substrates of several square meters, guaranteeing pattern consistency; a vacuum adsorption substrate platform to effectively suppress substrate deformation and improve exposure pass rate; and a PLC intelligent control system to achieve fully automated substrate loading, pre-alignment, exposure, and unloading, supporting online parameter monitoring, anomaly alarms, and data traceability, suitable for 24-hour continuous mass production.
Allt verkstæðið notar 589nm einlitan gulan ljósgjafa, síar algjörlega út stutt-bylgjulengd ljós eins og útfjólubláu, bláu og hvítu ljósi, sem kemur í veg fyrir að þessir geislar kveiki of snemma af sér ljósefnafræðileg viðbrögð í ljósviðnáminu, sem veldur banvænum göllum eins og misjöfnun mynsturs, ófullkomnar línur og opnar skammhlaup, skammhlaup. Ljósakerfið notar blöndu af sérstökum gulum ljósdíóðum og tvöföldum-laga síum til að koma í veg fyrir leka á flökkuljósi; hurðir, gluggar og athugunargluggar eru búnir -útfjólubláum síuefnum; farsímar, myndavélar, há-flassljós og aðrir ytri ljósgjafar eru stranglega bönnuð inni á verkstæðinu og full-ljósagastjórnun er innleidd til að útiloka hættuna á ótímabærri lýsingu ljósþols frá upptökum.
Kynning á Class 100 Cleanrooms fyrir LCD skjáa framleiðendur
Á sviði hár-nákvæmrar LCD framleiðslu eru Class 100 hreinherbergi (ISO Class 5 cleanrooms) kjarna framleiðsluaðstaðan og lykilvísir um tæknilegan styrk framleiðanda og vöruafrakstur. Þau eru mikið notuð í kjarnaferlisstigum eins og fylki, frumusamsetningu og einingapökkun af leiðandi skjáfyrirtækjum eins og BOE, TCL CSOT, HKC og Tianma. Þessi hreinherbergi hafa stranga hreinlætisstaðla, með ekki meira en 100 svifrykögnum sem eru stærri en eða jafnt og 0,5μm í þvermál á hvern rúmfet lofts (minna en eða jafnt og 3520 á rúmmetra). Þetta hreinlætisstig er langt umfram það sem er á skurðstofum í læknisfræði og þjónar sem „harðkjarna hindrun“ til að koma í veg fyrir að ryk, stöðurafmagn og efnamengun trufla nákvæmnisferla. Það er algerlega vélbúnaðarhluti sem ákvarðar beint myndgæði skjásins, líftíma og afraksturshlutfall.
Verkstæðið er hannað og byggt nákvæmlega í samræmi við alþjóðlega og innlenda staðla ISO. Það notar lóðrétta einstefnu loftflæðisstillingu ásamt fjögurra-þrepa ULPA síunarkerfi (for-síu, miðlungs-nýtni síu, hár-skilvirkni síu og ofur-hári-skilvirkni síu), sem nær allt að 9% 99 síunarnýtni sem er allt að 9 tin. fjarlægja ryk og útrýma loftflæðisdauðum svæðum. Samtímis næst nákvæmri umhverfisstýringu í öllum víddum: stöðugt hitastig 23±1 gráðu, hlutfalls rakastig stjórnað við 45%-55%, jákvæðu þrýstingsástandi haldið á hreinu svæði og þrýstingsmunur sem er meiri en eða jafn og 10Pa á milli aðliggjandi svæða, sem kemur algjörlega í veg fyrir íferð utanaðkomandi ryks; með hliðsjón af næmni skjáborða fyrir rafstöðueiginleikum er notað -tafrænt epoxý sjálf-jafnandi gólfefni og 304 ryðfríu stáli og hreinherbergislit stálplötur eru notaðar fyrir veggi og loft, með ströngu eftirliti með stöðurafmagnsgildum í gegnum ferlið; viðbótarstýring er til staðar fyrir -sameindastig VOC efnamengunar og duldra truflana eins og ör titrings, sem uppfyllir kröfur nanóskala ferla eins og ljóslitafræði, þunnfilmuútfellingar og inndælingar á fljótandi kristal.
Verkstæðið tekur upp þrepaskipt hreinherbergishönnun, skipt í Class 100 kjarnasvæði, Class 1000 stuðpúðasvæði og Class 10.000 aukasvæði, með lögum sem koma í veg fyrir kross-mengun, og starfsfólk og sjálfvirkar efnisflutningalínur eru algjörlega aðskildar. Starfsfólk verður að gangast undir þrefalda fataskipti, loftsturtu og rafstöðuuppgötvun og geta aðeins farið inn eftir að hafa klæðst fullum-búningi í hreinherbergi, ryklausum-hönskum og hlífðargleraugu; efni eru flutt í gegnum samtengda flutningsglugga og gangast undir ryk- og stöðurafmagnsmeðferð; Innréttingin er búin FFU lagskiptu flæðishettum, agnateljara á netinu, hita- og rakaskynjara, mismunaþrýstingsmælum og öðrum búnaði til að ná 24-stunda rauntíma vöktun og rekjanleika gagna, og mun strax gefa út viðvaranir og gera breytingar ef óeðlilegar vísbendingar eru til að tryggja stöðugan umhverfisstöðugleika.
